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      產(chǎn)品中心

      Product Center

      磁控濺射儀

      產(chǎn)品簡介

      KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

      產(chǎn)品型號:
      更新時間:2024-03-27
      廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      訪問量:14987
      詳細(xì)介紹在線留言
      品牌助藍(lán)科技濺射氣體詳詢
      樣品臺尺寸詳詢mm控制方式詳詢
      樣品倉尺寸詳詢mm靶材尺寸詳詢mm
      靶材材質(zhì)詳詢價格區(qū)間面議
      產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池

      KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

           目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實驗電爐   CVD供氣系統(tǒng)   等離子清洗機   小型離子濺射儀   磁控濺射儀 石英管真空封口   半導(dǎo)體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。

           公司與國內(nèi)高校,科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開放實驗室,相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力,科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。



      控制方式

      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

      濺射電源

      40KHz濺射電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      大功率

      ≤1000W

      大輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      極限真空

      機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      濺射真空

      ≤30Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      樣品臺

      可旋轉(zhuǎn)φ62  (大可安裝φ50基底)

      樣品臺轉(zhuǎn)速

      8轉(zhuǎn)/分鐘

      樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

      40-105mm

      真空測量

      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預(yù)留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口





       

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