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150分子泵套裝機組，前級采用雙極四旋片真空泵，2.2L/S。分子泵采用150分子泵，空載極限壓強為1X10-4Pa

氣體配比器質(zhì)量流量計，采用觸摸屏控制，五段時間調(diào)節(jié)不同流量，使配氣更及時，更簡單，

溫控器真空加熱腔，304不銹鋼腔體，搭配溫控器，有進出氣接口和壓力檢測接口，上面配有石英觀察窗

溫控真空加熱腔機械加工，304不銹鋼腔體，搭配溫控器，有進出氣接口和壓力檢測接口，上面配有石英觀察窗

小型高溫蒸鍍儀，鎢舟加熱，或者坩堝加熱，溫度可達1800度，帶樣品臺旋轉(zhuǎn)功能，使鍍膜更加均勻

大功率桌面濺射儀，采用小電流高電壓，最大功率1000w，配有水冷機接口，可長時間運行

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*等離子清洗機，150W射頻電源，整機工作電流不大于3.5A，清洗頻率13.56MHz